(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111637969.6 (22)申请日 2021.12.2 9 (71)申请人 苏州赛美特 科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市中国 （江苏） 自 由贸易试验区苏州片区苏州工业园区 金鸡湖大道88号人工智能产业园G2- 2101单元 (72)发明人 何建波　 (74)专利代理 机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通 合伙) 11463 代理人 彭星 (51)Int.Cl. G06K 9/62(2022.01) G06Q 50/04(2012.01) (54)发明名称 一种数据对比方法、 装置设备及存 储介质 (57)摘要 本申请提供了一种数据对比方法、 装置设备 及存储介质， 其中， 该数据对比方法包括： 响应对 半导体设备集中第一半导体设备的选择操作， 针 对半导体设备集中的每一个第二 半导体设备， 将 第一半导体设备的第一Recipe与第二半导体设 备的第二Recipe进行比较， 得到用于表示第一 Recipe和第二Recipe相同或者不相同的比较结 果； 将第一半导体设备的标识信息、 各第二半导 体设备的标识信息以及第一Recipe与各第二 Recipe的比较结果在图形用户界面上的第一页 面中进行显示； 通过上述数据对比方法， 有利于 降低人工的工作量， 从而有利于提升用户的体 验。 权利要求书2页 说明书10页 附图3页 CN 114358168 A 2022.04.15 CN 114358168 A 1.一种数据对比方法， 其特 征在于， 应用于RMS系统， 包括： 响应对半导体设备集中第 一半导体设备的选择操作， 针对所述半导体设备集中的每一 个第二半导体 设备， 将所述第一半导体 设备的第一Recipe与第二半导体 设备的第二Recipe 进行比较， 得到用于表示所述第一Recipe和所述第二Recipe相同或者不相同的比较结果； 其中， 各所述第二半导体设备包括所述半导体设备集中除所述第一半导体设备之外的其他 半导体设备； 将所述第一半导体设备的标识信 息、 各所述第 二半导体设备的标识信 息以及所述第 一 Recipe与各 所述第二Recipe的比较结果在图形用户界面上的第一页面中进行显示。 2.如权利要求1所述的数据对比方法， 其特征在于， 在所述将所述第 一半导体设备的标 识信息、 各所述第二半导体 设备的标识信息以及所述第一 Recipe与各所述第二Recipe的比 较结果在图形用户界面上的第一页面中进行显示后， 所述数据对比方法还 包括： 响应对各所述比较结果中目标比较结果的目标操作， 获取所述目标比较结果对应的所 述第一Recipe和第二目标Recipe的比较信息； 其中， 所述比较信息包括： 所述第一Recipe中 的至少一个第一参数的参数名称和参数值、 所述第二目标Recipe中的至少一个第二参数的 参数名称和参数值、 各所述第一参数与各所述第二参数之 间的用于表示参数值相同或者不 相同的参数比较结果， 进行比较的第一 参数和第二 参数具有相同的参数名称； 将所述比较信息在所述图形用户界面上的第二页面中进行显示。 3.如权利要求2所述的数据对比方法， 其特征在于， 在所述将所述比较信 息在所述图形 用户界面上的第二页面中进行显示后， 所述数据对比方法还 包括： 在所述比较信息中确定用于表示 参数值不相同的目标参数比较结果； 对所述目标参数比较结果、 所述目标参数比较结果对应的所述第一Recipe中的第一目 标参数的参数名称和参数值、 所述目标参数比较结果对应的所述第二目标Recipe中的第二 目标参数的参数名称和参数值进行 标注。 4.如权利要求2所述的数据对比方法， 其特 征在于， 所述数据对比方法还 包括： 所述第二页面在所述图形用户界面上的显示区域包括所述图形用户界面上除所述第 一页面的显示区域之外其 他区域。 5.如权利要求2所述的数据对比方法， 其特 征在于， 所述数据对比方法还 包括： 对各所述比较结果以及各 所述比较结果对应的比较信息进行存 储。 6.一种数据对比装置， 其特 征在于， 应用于RMS系统， 包括： 比较模块， 用于响应对半导体设备集中第一半导体设备的选择操作， 针对所述半导体 设备集中的每一个第二半导体设备， 将所述第一半导体 设备的第一 Recipe与第二半导体设 备的第二Recipe进行比较， 得到用于表 示所述第一Recipe和所述第二Recipe相同或者不相 同的比较结果； 其中， 各所述第二半导体设备包括所述半导体设备集中除所述第一半导体 设备之外的其 他半导体设备； 第一显示模块， 用于将所述第一半导体设备的标识信息、 各所述第二半导体设备的标 识信息以及所述第一Recipe与各所述第二Recipe的比较结果在图形用户界面上的第一页 面中进行显示。 7.如权利要求6所述的数据对比装置， 其特征在于， 在所述第 一显示模块用于将所述第 一半导体设备的标识信息、 各所述第二半导体 设备的标识信息以及所述第一 Recipe与各所权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114358168 A 2述第二Recipe的比较结果在图形用户界面上的第一页面中进 行显示后， 所述数据对比装置 还包括： 获取模块， 用于响应对各所述比较结果中目标比较结果的目标操作， 获取所述目标比 较结果对应的所述第一Recipe和第二目标Recipe的比较信息； 其中， 所述比较信息包括： 所 述第一Recipe中的至少一个第一参数的参数名称和参数值、 所述第二目标Recipe中的至少 一个第二参数的参数名称和参数值、 各所述第一参数与各所述第二参数之 间的用于表示参 数值相同或者不相同的参数比较结果， 进 行比较的第一参数和 第二参数具有相同的参数名 称； 第二显示模块， 用于将所述比较信息在所述图形用户界面上的第二页面中进行显示。 8.如权利要求7所述的数据对比装置， 其特征在于， 在所述第 二显示模块用于将所述比 较信息在所述图形用户界面上的第二页面中进行显示后， 所述数据对比装置还 包括： 确定模块， 用于在所述比较信息中确定用于表示 参数值不相同的目标参数比较结果； 标注模块， 用于对所述目标参数比较结果、 所述目标参数比较结果对应的所述第一 Recipe中的第一目标参数的参数名称和参数值、 所述目标参数比较结果对应的所述第二目 标Recipe中的第二目标参数的参数名称和参数值进行 标注。 9.一种计算机设备， 包括存储器、 处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上 运行的计算机程序， 其特征在于， 所述处理器执行所述计算机程序时实现上述权利要求 1‑5 中任一项所述的数据对比方法的步骤。 10.一种计算机可读存储介质， 所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序， 其特征 在于， 所述计算机程序被处理器运行时执行上述权利要求1 ‑5中任一项所述的数据对比方 法的步骤。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114358168 A 3