(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221941711.5 (22)申请日 2022.07.26 (73)专利权人 山东博通微电子有限公司 地址 273100 山东省济宁市曲阜市电子产 业园有邻路与信息路交汇处山东博通 微电子有限公司 (72)发明人 崔先伟　李亚涛　陈艳琼　 (74)专利代理 机构 济南尚本知识产权代理事务 所(普通合伙) 37307 专利代理师 倪迎春 (51)Int.Cl. B24B 7/22(2006.01) B24B 41/06(2012.01) H01L 21/687(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆加工用工作台面 (57)摘要 本实用新型公开一种晶圆加工用工作台面， 涉及晶圆加工领域。 该晶圆加工用工作台面， 包 括工作台主体、 晶圆主体、 支 撑板、 用来固定晶圆 主体位置的夹紧机构， 工作台主体， 所述工作台 主体顶部设置有打磨盘主体； 支撑板。 该晶圆加 工用工作台面， 通过转动螺纹柱带动夹紧板向右 移动， 使得能够根据晶圆主体外壁尺 寸对晶圆主 体进行夹紧， 便于提高设备的实用性， 方便使用， 通过使用者手持把手向下按压带动晶圆主体向 下移动， 使晶圆主体与打磨盘主体接触， 使得能 够对其进行打磨修整， 且通过手持的方式， 方便 使用者对晶圆主体打磨程度的控制。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 217991910 U 2022.12.09 CN 217991910 U 1.一种晶圆加工用工作台面， 包括工作台主体(1)、 晶圆主体(102)、 支撑板(2)、 用来 固 定晶圆主体(102)位置的夹紧机构， 其特 征在于： 工作台主体(1)， 所述工作台主体(1)顶部设置有打磨盘主体(101)； 支撑板(2)， 所述支撑 板(2)底部固定安装在工作台主体(1)顶部； 夹紧机构， 所述夹紧机构包括主板(3)、 用来调节位置的螺纹柱(302)以及用来挤压晶 圆主体(102)的夹紧板(304)， 所述主板(3)前壁左壁开设有圆孔， 所述螺纹柱(302)外壁转 动连接在 主板(3)前壁左壁开设的圆孔内， 所述螺纹柱(302)外壁螺纹连接在移动块(303)， 所述移动块(303)右壁固定设置有夹紧板(304)， 且晶圆主体(102)左壁被夹紧板(304)右壁 抵持。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用工作台面， 其特征在于： 所述支撑板(2)内部 开设有凹槽， 所述主板(3)外壁活动卡接在支撑板(2)内腔中， 所述支撑板(2)内腔底部固定 设置有固定杆(204)， 所述固定杆(204)顶部穿过主板(3)向上延伸， 所述固定杆(204)外壁 活动套接有弹簧条(20 5)， 所述弹簧条(20 5)位于主板(3)下 方。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用工作台面， 其特征在于： 所述主板(3)左壁固 定连接有连接板(301)， 所述支撑板(2)左 壁开设有第三滑动槽(203)， 所述连接板(301)左 端穿过第三滑动槽(20 3)向左延伸， 所述螺纹柱(3 02)左端穿过 连接板(301)向左延伸。 4.根据权利要求3所述的一种晶圆加工用工作台面， 其特征在于： 所述螺纹柱(302)外 壁固定设置有固定盘(307)， 所述固定盘(307)左壁开设有固定孔(308)， 所述固定孔(308) 内壁活动插接有固定柱(309)， 所述连接板(301)左壁开设有连接孔(310)， 所述固定柱 (309)右端螺纹连接在连接孔(310)内。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用工作台面， 其特征在于： 所述移动块(303)左 壁开设有凹槽， 所述移动块(303)左壁开设的凹槽内壁活动卡接有限位块(306)， 所述限位 块(306)左壁固定连接有限位杆(3 05)， 所述限位杆(3 05)左端固定连接在主板(3)上。 6.根据权利要求5所述的一种晶圆加工用工作台面， 其特征在于： 所述支撑板(2)右壁 开设有第一滑动槽(201)， 所述螺纹柱(302)右端穿过第一滑动槽(201)向右延伸， 所述支撑 板(2)右壁开设有第二滑动槽(202)， 所述限位杆(305)活动插接在第二滑动槽(202)内壁 中， 所述移动块(3 03)顶部固定安装有把手(31 1)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217991910 U 2一种晶圆加工用工作台面 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆加工技 术领域， 具体为 一种晶圆加工用工作台面。 背景技术 [0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片， 其原始材料是硅， 硅晶棒在经过研磨， 抛光， 切片后， 形成硅晶圆片， 也 就是晶圆。 [0003]在生产加工过程中， 需要对其表面进行打磨修整， 现有技术需要通过晶圆加工用 工作台面上的定位机构对晶圆的位置进行固定， 以此便于通过打磨 盘对晶圆表面进行打磨 修整。 [0004]但是现有晶圆加工用工作台面在使用过程中具有一定局限性， 由于其定位机构在 对晶圆进行固定时较为单调， 而现有晶圆的尺寸各有不同， 而其定位机构只能够对同一尺 寸的晶圆进 行固定， 使其定位效果较差， 不便于使用， 且现有的晶圆加工用工作台面中的定 位机构在使用过程， 晶圆底部与打磨盘接触， 难以控制打磨程度， 因此， 提出一种晶圆加工 用工作台面以解决上述问题。 实用新型内容 [0005](一)解决的技 术问题 [0006]针对现有技术的不足， 本实用新型公开了一种晶圆加工用工作 台面， 以解决上述 背景技术中提出现有的晶圆加工用工作台面上的定位机构只能够对同一尺寸的晶圆进行 固定以及晶圆底部与打磨盘打磨难以控制打磨程度的问题。 [0007](二)技术方案 [0008]为实现以上目的， 本实用新型通过以下技术方案予以实现： 一种晶圆加工用工作 台面， 包括工作台主体、 晶圆主体、 支撑 板、 用来固定晶圆主体位置的夹紧机构， [0009]工作台主体， 所述工作台主体顶部设置有打磨盘主体； [0010]支撑板， 所述支撑 板底部固定安装在工作台主体顶部； [0011]夹紧机构， 所述夹紧机构包括主板、 用来调节位置 的螺纹柱以及用来挤压 晶圆主 体的夹紧板， 所述主板前壁左壁开设有圆孔， 所述螺纹柱外壁转动连接在主板前壁左壁开 设的圆孔内， 所述螺纹柱外壁螺纹连接在移动块， 所述移动块右 壁固定设置有夹紧板， 且晶 圆主体左壁被夹紧板右壁抵持。 [0012]优选的， 所述支撑板内部开设有凹槽， 所述主板外壁活动卡接在支撑板内腔中， 所 述支撑板内腔底部固定设置有固定杆， 所述固定杆顶部穿过主板 向上延伸， 所述固定杆外 壁活动套接有弹簧条， 所述弹簧条位于主板下 方。 [0013]优选的， 所述主板左壁固定连接有连接板， 所述支撑板左壁开设有第三滑动槽， 所 述连接板左端穿过第三滑动槽向左延伸， 所述螺纹柱左端穿过 连接板向左延伸。 [0014]优选的， 所述螺纹柱外壁固定设置有固定盘， 所述固定盘左壁开设有固定孔， 所述 固定孔内壁活动插接有固定柱， 所述连接板左壁开设有连接孔， 所述固定柱右端螺纹连接说　明　书 1/4 页 3 CN 217991910 U 3