公共安全标准网
书 书 书犐犆犛 29 . 045 犆犆犛犎 82 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 / 犜 41652 — 2022 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G25 /G29 犛犻犾犻犮狅狀犲犾犲犮狋狉狅犱犲犪狀犱狊犻犾犻犮狅狀狉犻狀犵犳狅狉狆犾犪狊犿犪犲狋犮犺犻狀犵犿犪犮犺犻狀犲 2022  07  11 /G2A /G2B 2023  02  01 /G2C /G2D /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G27 /G28 /G29 /G2A /G33 /G2F /G30 /G34 /G35 /G36 /G2A /G2B 书 书 书/G21    /G22    /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 GB / T1.1 — 2020 《 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C   /G2D 1 /G2E /G2F : /G26 /G27 /G28 /G22 /G23 /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G2C 》 /G30 /G36 /G37 /G34 /G35 。 /G38 /G39 /G3A /G21 /G22 /G23 /G30 /G3B /G3C /G3D /G3E /G3F /G40 /G41 /G42 /G43 /G44 。 /G21 /G22 /G23 /G30 /G45 /G46 /G47 /G32 /G48 /G49 /G4A /G4B /G4C /G43 /G44 /G30 /G4D /G4E 。 /G21 /G22 /G23 /G4F /G50 /G51 /G52 /G2B /G53 /G54 /G55 /G33 /G56 /G57 /G26 /G27 /G28 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C ( SAC / TC203 ) /G5D /G50 /G51 /G52 /G2B /G53 /G54 /G55 /G33 /G56 /G57 /G26 /G27 /G28 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G56 /G57 /G2F /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C ( SAC / TC203 / SC2 ) /G5E /G5F /G60 /G61 /G62 /G63 /G64 。 /G21 /G22 /G23 /G34 /G35 /G65 /G66 : /G67 /G68 /G52 /G2B /G53 /G69 /G56 /G57 /G6A /G6B /G6C /G6D 、 /G6E /G6F /G67 /G68 /G52 /G2B /G53 /G56 /G57 /G67 /G70 /G6C /G6D 、 /G71 /G72 /G73 ( /G74 /G75 ) /G52 /G2B /G53 /G76 /G58 /G67 /G70 /G6C /G6D 、 /G77 /G78 /G79 /G7A /G52 /G2B /G53 /G67 /G70 /G6C /G6D 。 /G21 /G22 /G23 /G7B /G7C /G34 /G35 /G7D : /G7E /G7F /G80 、 /G81 /G82 、 /G83 /G84 /G85 、 /G86 /G87 /G88 、 /G89 /G8A /G8B 、 /G8C /G8D /G8E 。 Ⅰ 犌犅 / 犜 41652 — 2022 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G27 /G2B 1   /G2C /G2D /G21 /G22 /G23 /G36 /G37 /G8F /G90 /G91 /G47 /G92 /G69 /G93 /G94 /G42 /G69 /G95 /G30 /G58 /G59 /G7C /G96 、 /G97 /G98 /G99 /G9A 、 /G9B /G98 /G36 /G2C 、 /G26 /G84 、 /G9C /G9D 、 /G9E /G9F 、 /GA0 /GA1 /G33 /GA2 /GA3 /G22 /G23 /GA4 /G42 /GA5 /GA6 /G65 /G3D /G3E 。 /G21 /G22 /G23 /GA7 /G92 /GA8 p < 100 > /GA9 /GAA /G69 /G65 /GAB /GAC /G29 /GAD /G30 /G90 /G91 /G47 /G92 /GA9 /GAE 200mm ~ 450mm /G30 /G69 /G93 /G94 /G42 /G69 /G95 。 2   /G2E /G2C /G2F /G30 /G26 /G31 /G32 /GAF /GB0 /G22 /G23 /GB1 /G30 /G3D /G3E /GB2 /GB3 /G22 /GB1 /G30 /G36 /GB4 /GB5 /GB6 /G92 /GB7 /G32 /GAD /G21 /G22 /G23 /GB8 /G48 /G3F /GB9 /G30 /GBA /GBB 。 /GBC /GB1 , /G39 /GBD /GBE /G30 /GB6 /G92 /G22 /G23 , /GBF /GC0 /GBD /GBE /GC1 /GC2 /G30 /GC3 /G21 /GA7 /G92 /GA8 /G21 /G22 /G23 ; /G48 /G39 /GBD /GBE /G30 /GB6 /G92 /G22 /G23 , /GBC /GC4 /G71 /GC3 /G21 ( /G9C /GC5 /GC6 /G67 /G30 /GC7 /GC8 /G65 ) /GA7 /G92 /GA8 /G21 /G22 /G23 。 GB / T1550   /GC9 /G21 /GCA /G52 /G2B /G53 /G56 /G57 /G2B /G93 /GCB /GCC /GCD /G97 /G99 /G9A GB / T1551   /G69 /G65 /GAB /G93 /GCE /GCF /G30 /GCD /G37   /GA9 /GD0 /GD1 /GD2 /GD3 /G9A /G33 /GA9 /GD4 /GD5 /GD2 /GD3 /G9A GB / T1554   /G69 /GAB /G53 /GD6 /GD7 /GB5 /G28 /GD8 /GD9 /GDA /GDB /G91 /G9B /G98 /G99 /G9A GB / T1555   /G52 /G2B /G53 /G65 /GAB /GAB /GDC /GCD /G37 /G99 /G9A GB / T1557   /G69 /GAB /G53 /GB1 /GDD /GDE /GDF /GE0 /GE1 /G30 /GE2 /GE3 /GE4 /GE5 /GCD /GE1 /G99 /G9A GB / T1558   /G69 /GB1 /GE6 /G66 /GE7 /GE8 /GE9 /GE0 /GE1 /GE2 /GE3 /GE4 /GE5 /GCD /GE1 /G99 /G9A GB / T6624   /G69 /GEA /G73 /GEB /GEC /GED /GEE /GE1 /GEF /GCD /G9B /G98 /G99 /G9A GB / T11073   /G69 /GEB /GAE /GDC /G93 /GCE /GCF /GF0 /G28 /G30 /GCD /GE1 /G99 /G9A GB / T14264   /G52 /G2B /G53 /G56 /G57 /G59 /GF1 GB / T29505   /G69 /GEB /G8E /GF2 /GEC /GED /G30 /GEC /GED /GF3 /GF4 /GF5 /GCD /GE1 /G99 /G9A 3   /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 GB / T14264 /GF6 /G37 /G30 /GA4 /G42 /GAF /GB0 /G59 /GF1 /G33 /G37 /GF7 /GA7 /G92 /GA8 /G21 /G22 /G23 。 3 . 1 /G38 /G39 /G3A   犳犾犪狋狀犲狊狊 /G69 /G93 /G94 /GF8 /G69 /G95 /GF9 /GF5 /G30 /GC4 /GFA /GFB /G5D /GC4 /GFC /GFB /GFD /GDD /G30 /GFE /GFB 。 4   /G3B /G33 /G3C /G3D 4 . 1   /G28 /G3E /G3F /G40 /G69 /G93 /G94 /G42 /G69 /G95 /G30 /G93 /GD8 /GFF /G21 /GC2 /G22 /G23 /GEC 1 /G30 /G36 /G37 。 1 犌犅 / 犜 41652 — 2022 /G41 1   /G28 /G3E /G3F /G40 /G2B /G93 /GCB /GCC ( /G24 /G25 /G26 ) /G93 /GCE /GCF Ω · cm /GAE /GDC /G93 /GCE /GCF /GF0 /G28 p ( B ) ≤ 0.02 1 ~ 5 65 ~ 85 ≤ 10% 4 . 2  

.pdf文档 GB-T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环

文档预览
中文文档 8 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分
温馨提示:本文档共8页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
GB-T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环 第 1 页 GB-T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环 第 2 页 GB-T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环 第 3 页
下载文档到电脑,方便使用
本文档由 人生无常 于 2025-02-20 13:25:22上传分享
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们微信(点击查看客服),我们将及时删除相关资源。