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ICS29.045 H80 中华人民共和国国家标准 GB/T30453—2013 硅 材料原生缺陷图谱 Metallographscollectionfororiginaldefectsofcrystallinesilicon 2013-12-31发布 2014-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 硅多晶结构的不完整性 1 ………………………………………………………………………………… 5 硅单晶晶体缺陷 4 ………………………………………………………………………………………… 6 硅片加工缺陷 9 …………………………………………………………………………………………… 7 硅外延片缺陷 11 ………………………………………………………………………………………… 附录A(资料性附录) 氢致缺陷图 76 ……………………………………………………………………… 索引 79 ………………………………………………………………………………………………………… ⅠGB/T30453—2013

.pdf文档 GB-T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱

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